Wafer container cleaning system

   
   

A system and method for cleaning boxes used for handling flat media includes a rotor rotatably mounted within an enclosure, with spray nozzles in the enclosure for spraying fluid toward the rotor. The rotor has at least one box holder assembly for holding a box. At least one retainer bar is located on the rotor for engaging a front section of the box to retain the box in the box holder assembly during rotation of the rotor. The retainer bar is preferably moveable from a first position where the retainer bar restrains the box on the box holder assembly, to a second position where the retainer bar is moved away from the box. The box holder assembly may alternatively include a base with a plurality of grooved elements thereon that are adapted to engage a flange on the box for securing the box to the box holder assembly.

Ein System und eine Methode für das Säubern der Kästen, die für die Behandlung der flachen Mittel benutzt werden, schließt einen Rotor mit ein, der drehbar innerhalb einer Einschließung, mit Spraydüsen in der Einschließung für Sprühflüssigkeit in Richtung zum Rotor angebracht wird. Der Rotor hat mindestens einen Kastenhalter für das Halten eines Kastens. Mindestens ist ein Halterstab auf dem Rotor für das Engagieren eines Vorderteils des Kastens, um den Kasten im Kastenhalter während der Umdrehung des Rotors zu behalten. Der Halterstab ist von einer ersten Position, in der der Halterstab den Kasten auf dem Kastenhalter zurückhält, in eine zweite Position vorzugsweise beweglich, in der der Halterstab weg vom Kasten verschoben wird. Der Kastenhalter kann eine Unterseite mit einer Mehrzahl der gefugten Elemente wechselweise darauf einschließen, die angepaßt werden, um sich einen Flansch auf dem Kasten für das Befestigen des Kastens an den Kastenhalter zu engagieren.

 
Web www.patentalert.com

< Microelectronic workpiece transfer devices and methods of using such devices in the processing of microelectronic workpieces

< Method and apparatus for executing plural processes on a microelectronic workpiece at a single processing station

> Methods for cleaning semiconductor surfaces

> Automated semiconductor processing system

~ 00150