Projection exposure apparatus using wavefront detection

   
   

A projection exposure apparatus for imaging and printing a pattern, formed on a first object, upon a second object through a projection optical system. The projection exposure apparatus includes a storing device for storing information related to light intensity distribution on a pupil plane of the projection optical system in a reference state, and a detecting device for detecting a wavefront of the projection optical system in an arbitrary state, on the basis of the stored information.

Прибор выдержки проекции для воображения и печатать картину, сформированный на первом предмете, на втором предмете через систему проекции оптически. Прибор выдержки проекции вклюает приспособление для хранить информация отнесенная к распределению интенсивности света на плоскости зрачка системы проекции оптически в положение справки, и обнаруживая приспособление для обнаруживать wavefront системы проекции оптически в произвольном положении, on the basis of, котор хранят информация.

 
Web www.patentalert.com

< Speech synthesizing method and apparatus

< Machine interface

> Diffractive optical element and optical system

> Color management architecture using phantom profiles to transfer data between transformation modules

~ 00150