The present invention provides a source of multiple beams of electrons
having a desired spatial pattern, as typically used for multiple beam
lithography. A source of radiation, typically ultraviolet radiation, is
directed onto a modulator and from the modulator onto a photocathode. The
modulator, typically a spatial light modulator, imposes a spatial pattern
onto the radiation. The pattern imposed onto the radiation is transmitted
to the multiple beams of electrons as such beams are generated by the
photocathode. An electron beam lithography system having higher throughput
than conventional single beam systems is one result. Methods of creating
multiple electron beams and methods of patterning targets with such
multiple beams of electrons are also described. A micromirror array is a
preferred modulator. Mercury arc lamp directing ultraviolet radiation by
means of the modulator onto a cesium telluride photocathode is a preferred
combination of radiation source and photocathode.
Die anwesende Erfindung liefert eine Quelle der mehrfachen Lichtstrahlen der Elektronen, die ein gewünschtes räumliches Muster haben, wie gewöhnlich verwendet für mehrfache Lichtstrahllithographie. Eine Quelle der Strahlung, gewöhnlich ultraviolette Strahlung, wird auf einen Modulator und vom Modulator auf eine Fotokatode verwiesen. Der Modulator, gewöhnlich ein räumlicher heller Modulator, erlegt ein räumliches Muster auf die Strahlung auf. Das Muster, das auf die Strahlung auferlegt wird, wird den mehrfachen Lichtstrahlen der Elektronen übermittelt, während solche Lichtstrahlen durch die Fotokatode erzeugt werden. Ein Elektronenstrahl-Lithographiesystem, das höheren Durchsatz als herkömmliche einzelne Lichtstrahlsysteme hat, ist ein Resultat. Methoden des Verursachens der mehrfachen Elektronenstrahlen und Methoden von patterning Ziele mit solchen mehrfachen Lichtstrahlen der Elektronen werden auch beschrieben. Eine micromirror Reihe ist ein bevorzugter Modulator. Die Quecksilberbogenlampe, die ultraviolette Strahlung mittels des Modulators auf eine Cäsium Telluridefotokatode verweist, ist eine bevorzugte Kombination der Strahlung Quelle und der Fotokatode.
