A focal plane array for millimeter wave imaging comprising a three
dimensional stack of antenna elements and radiometer microwave monolithic
integrated circuits (MMICs) embedded in polymer dielectric layers built on
top of a silicon substrate. Each radiometer MMIC and antenna element
comprise a radiometer pixel. The silicon substrate contains integrated
circuits to collect and process the signals from each radiometer pixel and
generate a full-frame video signal. The array can be fabricated on a
single silicon wafer or can be constructed from structures fabricated on
multiple silicon wafers.
Une rangée plate focale pour la formation image de vague de millimètre comportant une pile tridimensionnelle des éléments d'antenne et des circuits intégrés monolithiques à micro-ondes de radiomètre (MMICs) incorporés dans des couches diélectriques de polymère établies sur un substrat de silicium. Chaque radiomètre MMIC et élément d'antenne comportent un Pixel de radiomètre. Le substrat de silicium contient des circuits intégrés pour rassembler et traiter les signaux de chaque Pixel de radiomètre et pour produire d'un signal visuel d'plein-armature. La rangée peut être fabriquée sur une gaufrette de silicium simple ou peut être construite des structures fabriquées sur les gaufrettes de silicium multiples.
