Water treatment device and water treatment method using the same

   
   

Object of the preferred embodiment is to remove sol-form microparticles and nitrogen components contained in CMP wastewater. Sol-form microparticle components contained in CMP wastewater are removed by a filtration treatment using a filter device 13, having a gel-form second filter. Also, nitrogen components in the CMP wastewater are removed by an electrochemical treatment using electrode 12. The filtration treatment and the electrochemical treatment can be carried out in individual tanks or can be carried out in the same tank. By performing the filtration treatment and the electrochemical treatment in the same tank, a space-saving water treatment device can be provided.

Gegenstand der bevorzugten Verkörperung ist, die Solenoid-Form Mikroteilchen und Stickstoffbestandteile zu entfernen, die im CMP Abwasser enthalten werden. die Solenoid-Form Mikroteilchenbestandteile, die im CMP Abwasser enthalten werden, werden durch eine Filtrationbehandlung mit einer Filtervorrichtung 13 entfernt und haben einen Gel-Form zweite Filter. Auch Stickstoffbestandteile im CMP Abwasser werden durch eine elektrochemische Behandlung mit Elektrode 12 entfernt. Die Filtrationbehandlung und die elektrochemische Behandlung können in den einzelnen Behältern durchgeführt werden oder können im gleichen Behälter durchgeführt werden. Vom Durchführen der Filtrationbehandlung und der elektrochemischen Behandlung im gleichen Behälter, kann eine Raumersparniswasserbehandlungvorrichtung zur Verfügung gestellt werden.

 
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< Diffuser/emulsifier for aquaculture applications

< In situ neutralization of subsurface acidic pore water

> Process for the microbiological decontamination of water by means of photosensitive agents

> Multiphase fluid conveyance system

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