A method for inspecting a substrate for defects, including: (a) obtaining
an inspected pixel and a reference pixel; (b) calculating an inspected
value and a reference value, the inspected value representative of the
inspected pixel and the reference value representative of the reference
pixel; (c) selecting a threshold in response to a selected value out of
the inspected value and the reference value; and (d) determining a
relationship between the selected threshold, the reference value and the
inspected value to indicate a presence of a defect.
Une méthode pour inspecter un substrat pour déceler les défauts, incluant : (a) obtention d'un Pixel inspecté et d'un Pixel de référence ; (b) calcul d'une valeur inspectée et une valeur de référence, le représentant inspecté de valeur du Pixel inspecté et le représentant de valeur de référence du Pixel de référence ; (c) choix d'un seuil en réponse à une valeur choisie hors de la valeur inspectée et de la valeur de référence ; et (d) déterminant un rapport entre le seuil choisi, la valeur de référence et la valeur inspectée pour indiquer une présence d'un défaut.
