Suction control unit in a plate suction and lifting device

   
   

A suction control unit in a plate suction and lifting device that can suck and lift even the plate with process holes or the corrugated plate by finding the suckable flat part of the plate. A suction control unit 1 controls a plate suction and lifting device 2 for lifting a plate W by sucking the flat part of the plate W by a suction pad 4. The suction control unit 1 is equipped with a suction pressure detector 19 and a retry control unit 29. The retry control unit 29 detects the suction pressure of the suction pad 4. The retry control unit 29 sucks the plate again if the suction pressure of the suction pressure detector 19 does not reach the set pressure when the suction pad 4 sucks the plate W. This suction is implemented again by changing the flat part of the plate W sucked by the suction pad 4.

Una unidad de control de la succión en un dispositivo de la succión y de elevación de la placa que puede aspirar y levantar incluso la placa con los agujeros de proceso o la placa acanalada encontrando la parte plana suckable de la placa. Una unidad de control de la succión 1 controla un dispositivo 2 de la succión y de elevación de la placa para levantar una placa W aspirando la parte plana de la placa W por un cojín 4 de la succión. La unidad de control de la succión 1 se equipa de un detector 19 de la presión de la succión y de una unidad de control de la recomprobación 29. La unidad de control de la recomprobación 29 detecta la presión de la succión del cojín 4 de la succión. La unidad de control de la recomprobación 29 aspira la placa otra vez si la presión de la succión del detector 19 de la presión de la succión no alcanza la presión del sistema cuando el cojín 4 de la succión aspira la placa W. Esta succión es puesta en ejecucio'n otra vez cambiando la parte plana de la placa W aspirada por el cojín 4 de la succión.

 
Web www.patentalert.com

< Drive system for multiple axis robot arm

< Gripper or clamping device

> Adaptable servo-control system for force/position actuation

> Substrate processing apparatus and method of aligning substrate carrier apparatus

~ 00148