A bistable microelectromechanical system (MEMS) based system comprises a
micromachined beam having a first stable state, in which the beam is
substantially stress-free and has a specified non-linear shape, and a
second stable state. The curved shape may comprises a simple curve or a
compound curve. In embodiments, the boundary conditions for the beam are
fixed boundary conditions, bearing boundary conditions, spring boundary
conditions, or a combination thereof. The system may further comprise an
actuator arranged to move the beam between the first and second stable
states and a movable element that is moved between a first position and a
second position in accordance with the movement of the beam between the
first and second stable states. The actuator may comprise one of a thermal
actuator, an electrostatic actuator, a piezoelectric actuator and a
magnetic actuator. The actuator may further comprise a thermal impact
actuator or a zippering electrostatic actuator.
Un sistema basado microelectromechanical biestable del sistema (MEMS) abarca a micromachined la viga que tiene un primer estado estable, en el cual la viga es substancialmente tensionar-libre y tiene una forma no linear especificada, y un segundo estado estable. La forma curvada puede abarca una curva simple o una curva compuesta. En encarnaciones, las condiciones de límite para la viga son condiciones de límite fijas, llevando condiciones de límite, condiciones de límite del resorte, o una combinación de eso. El sistema puede abarcar más lejos un actuador dispuesto para mover la viga entre los primeros y segundos estados estables y un elemento movible que se mueva entre una primera posición y una segunda posición de acuerdo con el movimiento de la viga entre los primeros y segundos estados estables. El actuador puede abarcar uno de un actuador termal, de un actuador electrostático, de un actuador piezoeléctrico y de un actuador magnético. El actuador puede abarcar más lejos un actuador termal del impacto o un actuador electrostático zippering.
