An alignment device comprising a movable table, a plurality of movable
support means for movably supporting the movable table, means for reading
a recognition mark, and a control means for controlling the drive of the
movable support means based on information from the recognition means,
wherein each movable support means comprises means having a pair of
support blocks each provided to be able to contact/separate with/from the
movable table and a pair of piezoelectric actuators each provided with
expansible first, second and third piezoelectric elements connected to a
support block and extending in each direction, and being capable of
walking operation relative to the movable table by the operations of the
respective piezoelectric actuators. An alignment accuracy up to a
nanometer level can be attained, and the alignment device itself and
therefore the entire apparatus incorporating the alignment device can be
significantly reduced in thickness and size.
Um dispositivo do alinhamento que compreende uma tabela móvel, um plurality de meios móveis da sustentação para mòvel suportar a tabela móvel, de meios para ler uma marca do recognition, e de meios de um controle para controlar a movimentação dos meios móveis da sustentação baseados na informação dos meios do recognition, wherein os meios móveis de cada sustentação compreendem os meios que têm um par de blocos da sustentação cada um fornecido para poder a contact/separate with/from a tabela móvel e um par dos atuadores piezoelectric cada uma fornecida com os primeiros, segundos e terceiros elementos piezoelectric expansible conectados a um bloco da sustentação e estendendo em cada sentido, e ser capaz da operação andando relativo à tabela móvel pelas operações dos atuadores piezoelectric respectivos. Uma exatidão do alinhamento até um nível do nanômetro pode ser alcançada, e o dispositivo próprio do alinhamento e conseqüentemente o instrumento inteiro que incorpora o dispositivo do alinhamento pode significativamente ser reduzido na espessura e no tamanho.
