MEMS-actuated color light modulator and methods

   
   

A light modulator has one or more gratings and one or more MEMS actuators operable to move the gratings for selectively modulating light from an input light source. Certain embodiments have a plurality of blazed gratings arranged parallel to a plane and movable linearly parallel to the plane by MEMS actuators. Each of the gratings is individually blazed for light of a selected color such as red, green or blue. Associated with the gratings may be portions providing black and/or white outputs. An aperture spaced apart from the plane allows color(s) selected from an input white-light source to be directed to an output. An array of MEMS-actuated modulation devices provides a color spatial light modulator. Other embodiments have a grating adapted to be tilted by a MEMS actuator, either continuously through a range of angles or to a selected angle of a set of predetermined discrete angles, to direct selected wavelengths diffracted by the grating toward collection optics for a modulated light output. Methods specially adapted for making and using such light modulators are disclosed.

Un modulatore chiaro ha una o più grate ed uno o più azionatori di MEMS operabili per spostare le grate per luce selettivamente di modulazione da una fonte di luce dell'input. Determinati incorporamenti hanno linearmente una pluralità di parallelo organizzato grate arso ad un aereo e ad un bene mobile paralleli all'aereo dagli azionatori del MEMS. Ciascuna delle grate è arsa individualmente per luce di un colore selezionato quali colore rosso, verde o l'azzurro. Connesse con le grate possono essere le parti che forniscono le uscite nere e/o bianche. Un'apertura spaziata oltre all'aereo permette il color(s) scelto dall'per immettere la fonte della bianco-luce da dirigere verso un'uscita. Un allineamento dei dispositivi MEMS-attuati di modulazione fornisce un modulatore chiaro spaziale di colore. Altri incorporamenti hanno una grata adattata per essere inclinato continuamente da un azionatore di MEMS, attraverso una gamma di angoli o ad un angolo selezionato di un insieme degli angoli discreti predeterminati, alle lunghezze d'onda selezionate dirette diffracted tramite la grata verso ottica dell'accumulazione per un'uscita chiara modulata. I metodi adattati specialmente per fare ed usando tali modulatori chiari sono rilevati.

 
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< Method and apparatus for multiplexing in a wireless communication infrastructure

< Optical signal processor

> Micromirror systems with electrodes configured for sequential mirror attraction

> Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same

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