An apparatus for a thermal actuator for a micromechanical device,
especially a liquid drop emitter such as an ink jet printhead, is
disclosed. The disclosed thermal actuator comprises a base element and a
cantilevered element including a thermo-mechanical bending portion
extending from the base element and a free end portion residing in a first
position. The thermo-mechanical bending portion has a base end width,
w.sub.b, adjacent the base element and a free end width, w.sub.f, adjacent
the free end portion wherein the base end width is substantially greater
than the free end width. The thermal actuator further comprises apparatus
adapted to apply a heat pulse directly to the thermo-mechanical bending
portion causing the deflection of the free end portion of the cantilevered
element to a second position. The width of the thermo-mechanical bending
portion may reduce substantially monotonically as a function of the
distance away from the base element or in at least one step reduction. The
apparatus adapted to apply a heat pulse may comprise a thin film resistor.
Alternatively, the thermo-mechanical bending portion may comprise a layer
of electrically resistive material having a heater resistor formed therein
to which is applied an electrical pulse to cause rapid deflection of the
free end portion and ejection of a liquid drop.
Een apparaat voor thermische actuator voor een micromechanical apparaat, vooral een vloeibare dalingszender zoals inkt straalprinthead, wordt onthuld. Onthulde thermische actuator bestaat uit een basiselement en a cantilevered element met inbegrip van een thermomechanisch buigend gedeelte zich van het basiselement uitbreiden en een vrij eindgedeelte die in een eerste positie verblijven. Het thermomechanische buigende gedeelte heeft een breedte van het basiseind, w.sub.b, adjacent het basiselement en een vrije eindbreedte, w.sub.f, adjacent het vrije eindgedeelte waarin de breedte van het basiseind wezenlijk groter is dan de vrije eindbreedte. Thermische actuator bestaat verder uit apparaten die worden aangepast om een hitteimpuls op het thermomechanische buigende gedeelte toe te passen veroorzakend de afbuiging van het vrije eindgedeelte van cantilevered rechtstreeks element in een tweede positie. De breedte van het thermomechanische buigende gedeelte kan wezenlijk monotoon als functie van de afstand vanaf het basiselement of in minstens één stapvermindering verminderen. De apparaten die worden aangepast om een hitteimpuls toe te passen kunnen uit een dunne filmweerstand bestaan. Alternatief, kan het thermomechanische buigende gedeelte uit een laag van elektrisch weerstand biedend materiaal bestaan dat een verwarmerweerstand heeft die daarin wordt gevormd aan welke een elektroimpuls wordt toegepast om snelle afbuiging van het vrije eindgedeelte en de uitwerping van een vloeibare daling te veroorzaken.
