Sequential lateral solidification (SLS) crystallization of amorphous
silicon using a mask having striped light transmitting portions. An
amorphous silicon bearing substrate is located in an SLS apparatus. The
amorphous silicon film is functionally divided into a driving region (for
driving devices) and a display region (for TFT switches). Part of the
driving region is crystallized by a laser that passes through the mask.
The mask is then moved relative to the substrate by a translation distance
that is less than half the width of the light transmitting portions.
Thereafter, subsequent crystallizations are performed to crystallize the
driving region. Then, part of the display region is crystallized by a
laser that passes through the mask. The mask is then moved relative to the
substrate by a translation distance that is more than half the width of
the light transmitting portions. Thereafter, subsequent crystallizations
are performed to crystallize the display region.
Cristallisation latérale séquentielle de la solidification (SLS) de silicium amorphe en utilisant un masque ayant barré les parties de transmission de lumière. Un substrat amorphe de roulement de silicium est plac dans un appareillage de SLS. Le film amorphe de silicium est fonctionellement divisé en région de conduite (pour conduire des dispositifs) et région d'affichage (pour des commutateurs de TFT). Une partie de la région de conduite est cristallisée par un laser qui traverse le masque. Le masque est alors déplacé relativement au substrat par une distance de traduction qui est moins que moitié de la largeur de la transmission légère partage. Ensuite, des cristallisations suivantes sont exécutées pour cristalliser la région de conduite. Puis, une partie de la région d'affichage est cristallisée par un laser qui traverse le masque. Le masque est alors déplacé relativement au substrat par une distance de traduction qui est plus que moitié de la largeur de la transmission légère partage. Ensuite, des cristallisations suivantes sont exécutées pour cristalliser la région d'affichage.
