Stocker, exposure apparatus, device manufacturing method, semiconductor manufacturing factory, and exposure apparatus maintenance method

   
   

A stocker includes a first sealing member for stocking an object to be stocked, an atmosphere control device for controlling an internal atmosphere of the first sealing member to a first atmosphere of an inert gas, and a transfer device for transporting an object to be stocked to an exposure apparatus using an F.sub.2 excimer laser or receiving the object to be stocked from the exposure apparatus while the object to be stocked is shielded from an external atmosphere of the first sealing member.

Stocker вклюает первый член запечатывания для запасать предмет, котор нужно запасти, механизма управления атмосферы для контролировать внутренне атмосферу первого члена запечатывания к первой атмосфере инертного газа, и приспособление перехода для транспортировать предмет, котор нужно запасти к прибору выдержки использующ лазер excimer F.sub.2 или получающ предмет, котор нужно запасти от прибора выдержки пока предмет, котор нужно запасти защищен от внешней атмосферы первого члена запечатывания.

 
Web www.patentalert.com

< PROCESS CARTRIDGE, AN IMAGE FORMING APPARATUS, AND SYSTEM DESIGNED TO BLOCK ATTACHMENT OF A PROCESS CARTRIDGE TO AN APPARATUS FUNCTIONALLY DIFFERENT FROM THE APPARATUS TO WHICH THE PROCESS CARTRIDGE IS DESIGNED TO BE ATTACHED

< Power control circuit for laser diode having wavelength compensation

> Module for optical communications

> Laser diode driving circuit

~ 00147