A method of fabricating a ferroelectric capacitor comprises the steps of
forming an upper electrode on a ferroelectric film formed on a lower
electrode by a sputtering process of a conductive oxide film, wherein the
sputtering process is conducted by using a metal target under a first,
oxidizing condition and a second, less oxidizing condition.
Метод изготовлять ferroelectric конденсатор состоит из шагов формировать верхний электрод на ferroelectric пленке сформированной на более низком электроде процессом sputtering проводной пленки окиси, при котором процесс sputtering дирижированы путем использование цели металла под первым, окисляя условие и секунда, более менее окисляя условие.
