Spatial phase locking with shaped electron beam lithography

   
   

Fine positioning of a shaped or patterned charged particle beam without use of intrusive fiducial marks is achieved by providing a dithered shadow pattern, preferably in the form of a grid, within the shaped or patterned charged particle beam. Light output from fiducial marks preferably formed of a scintillating material is reduced when the dithered shadow pattern is incident on some or all of the fiducial marks. The timing of the incidence of the shadow pattern on fiducial marks indicates the position of the shaped or patterned charged particle beam such that correction of the beam position on the target can be corrected to a small fraction of system resolution. The dither pattern and repetition period is chosen to avoid interference with uniformity of beam illumination of the target. Feedback of position error thus provides phase locked position correction in real time and is suitable for mask making since the fiducial marks are not intrusive.

Точный располагать сформированного или сделанного по образцу порученного луча частицы без пользы интрузивных фидуциальных меток достиган путем обеспечивать dithered картину тени, предпочтительн в форме решетки, внутри сформированный или сделанный по образцу порученный луч частицы. Уменьшен сигнала от фидуциальных меток предпочтительн сформированных сверкая материала когда dithered картиной тени будет случай на некоторых или всей из фидуциальных меток. Время падения картины тени на фидуциальных метках показывает положение сформированного или сделанного по образцу порученного луча частицы такие что коррекцию положения луча на цели можно исправиться к малой части разрешения системы. Картина dither и период повторения выбраны для избежания взаимодействия с единообразием освещения луча цели. Обратная связь ошибки положения таким образом обеспечивает коррекцию замкнутого положения участка в реальном времени и целесообразна для маски делая в виду того что фидуциальные метки не интрузивны.

 
Web www.patentalert.com

< Finger SQUID qubit device

< Method for forming an optimized neural network module intended to simulate the flow mode of a multiphase fluid stream

> Toner for developing electrostatic latent image, toner cartridge containing the toner and image forming apparatus

> Systems, devices and methods for applying solution to filaments

~ 00146