Entangled-photon ellipsometry

   
   

A system for obtaining ellipsometric data from a sample. The system includes a source for providing a monochromatic light beam. The system also includes a nonlinear crystal for converting the monochromatic light beam into photon pairs by disintegrating photons from the monochromatic light beam, such that each of the photon pairs exhibits entanglement properties, wherein one of the photons of the pair is directed to the sample and the other of the photons of the pair is not directed to the sample. The system further includes a circuit for calculating the coincidence of one of the photons of the photon pair reflected from the sample and the other of the photons of the photon pair, wherein the measurements of the sample are obtained by analyzing the coincidence and the entanglement properties between one of the photons of the photon pair reflected from the sample and the other of the photons of the photon pair.

Ein System für das Erhalten von von ellipsometric Daten von einer Probe. Das System schließt eine Quelle für das Zur Verfügung stellen eines einfarbigen Lichtstrahls ein. Das System schließt auch einen nichtlinearen Kristall für das Umwandeln des einfarbigen Lichtstrahls in Photonpaare mit ein, indem es Photonen vom einfarbigen Lichtstrahl, so auflöst, daß jedes der Photonpaare Verwicklungeigenschaften ausstellt, worin eins der Photonen des Paares auf die Probe und verwiesen wird, wird anderes der Photonen des Paares nicht auf die Probe verwiesen. Das System, das weiter ist, schließt einen Stromkreis für die Berechnung der Übereinstimmung von einem der Photonen des Photonpaares ein, das von der Probe reflektiert wird und vom anderen der Photonen des Photonpaares, worin die Maße der Probe erhalten werden, indem man die Übereinstimmung und die Verwicklungeigenschaften zwischen einem der Photonen des Photonpaares analysiert, das von der Probe reflektiert wird und dem anderen der Photonen des Photonpaares.

 
Web www.patentalert.com

< Polarization analyzing apparatus and method for polarization analysis

< Fiber polarimeter, the use thereof, as well as polarimetric method

> Multi-AOI-system for easy changing angles-of-incidence in ellipsometer, polarimeter and reflectometer systems

> Method for determining ion concentration and energy of shallow junction implants

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