A temperature adjustment apparatus that can reduce the amount of
evaporation of a medium without using a closed type container. A
temperature adjustment apparatus 24 is composed of a container 26 that
contains PFC 42 for heat exchange, a circulation path 28 of the PFC 42
that passes through an electrode 20 of a plasma processing apparatus 10,
and a pump 30. A liquid layer 40 that separates from the PFC 42 is formed
in an upper layer of the PFC 42 that is contained in the container 26. As
a result, the PFC 42 does not directly contact the atmosphere and
therefore the amount of evaporation of the PFC 42 into the atmosphere is
substantially reduced.
Μια συσκευή ρύθμισης θερμοκρασίας που μπορεί να μειώσει το ποσό εξάτμισης ενός μέσου χωρίς χρησιμοποίηση ενός κλειστού εμπορευματοκιβωτίου τύπων. Μια συσκευή 24 ρύθμισης θερμοκρασίας αποτελείται από ένα εμπορευματοκιβώτιο 26 που περιέχει PFC 42 για την ανταλλαγή θερμότητας, μια πορεία 28 κυκλοφορίας του PFC 42 που περνά μέσω ενός ηλεκτροδίου 20 μιας συσκευής 10 επεξεργασίας πλάσματος, και μιας αντλίας 30. Ένα υγρό στρώμα 40 που χωρίζει από το PFC 42 διαμορφώνεται σε ένα ανώτερο στρώμα του PFC 42 που περιλαμβάνεται στο εμπορευματοκιβώτιο 26. Κατά συνέπεια, το PFC 42 άμεσα δεν έρχεται σε επαφή με την ατμόσφαιρα και επομένως το ποσό εξάτμισης του PFC 42 στην ατμόσφαιρα μειώνεται ουσιαστικά.
