An apparatus for a thermal actuator for a micromechanical device,
especially a liquid drop emitter such as an ink jet printhead, is
disclosed. The disclosed thermal actuator comprises a base element and a
cantilevered element including a thermo-mechanical bending portion
extending from the base element and a free end portion residing in a first
position. The thermo-mechanical bending portion has a base end width,
w.sub.b, adjacent the base element and a free end width, w.sub.f, adjacent
the free end portion wherein the base end width is substantially greater
than the free end width. The thermal actuator further comprises apparatus
adapted to apply a heat pulse directly to the thermo-mechanical bending
portion causing the deflection of the free end portion of the cantilevered
element to a second position. The width of the thermo-mechanical bending
portion may reduce substantially quadratically or in an inverse power
fashion as a function of the distance away from the base element or in at
least one step reduction. The apparatus adapted to apply a heat pulse may
comprise a thin film resistor. Alternatively, the thermo-mechanical
bending portion may comprise a layer of electrically resistive material
having a heater resistor formed therein to which is applied an electrical
pulse to cause rapid deflection of the free end portion and ejection of a
liquid drop.
Un appareil pour un déclencheur thermique pour un dispositif micromechanical, particulièrement un émetteur liquide de baisse tel qu'une encre voyage en jet le printhead, est révélé. Le déclencheur thermique révélé comporte un élément bas et un élément en porte-à-faux comprenant une partie de recourbement thermomécanique s'étendant de l'élément bas et une partie périphérique libre résidant en première position. La partie de recourbement thermomécanique a une largeur de fin, un w.sub.b, des adjacents bas l'élément bas et une largeur libre de fin, w.sub.f, adjacent la partie périphérique libre où la largeur basse de fin est essentiellement plus grande que la largeur libre de fin. Le déclencheur thermique autre comporte l'appareil adapté pour s'appliquer une impulsion de la chaleur directement à la partie de recourbement thermomécanique causant le débattement de la partie périphérique libre de l'élément en porte-à-faux à une deuxième position. La largeur de la partie de recourbement thermomécanique peut réduire essentiellement quadratiquement ou d'une mode inverse de puissance en fonction de la distance loin de l'élément bas ou dans au moins une réduction d'étape. L'appareil s'est adapté pour appliquer une impulsion de la chaleur peut comporter une résistance de la couche mince. Alternativement, la partie de recourbement thermomécanique peut comporter une couche du matériel électriquement résistif ayant une résistance de réchauffeur formée là-dedans à ce qui est appliqué une impulsion électrique pour causer le débattement rapide de la partie périphérique libre et l'éjection d'une baisse liquide.
