Exposure apparatus, method of manufacturing semiconductor devices, semiconductor manufacturing plant, method of maintaining exposure apparatus, and position detector

   
   

An exposure apparatus includes a projection optical system for projecting a pattern, which has been formed on a reticle, onto a photosensitive substrate, wherein a projection region of the pattern, which region is formed on the substrate via the projection optical system, is formed at a position that is off-centered with respect to an optical axis of the projection optical system, a substrate stage capable of holding and moving the substrate, a substrate transport system for transporting the substrate to the substrate stage, wherein the substrate transport system is disposed on the side of the projection region with respect to the optical axis, and the substrate transport system and the substrate stage are arranged in a divided space which is purged with inert gas, and a position detection system for detecting an alignment mark on the substrate.

Прибор выдержки вклюает проекцию оптически, котор система для проектировать картину, которая была сформирована на перекрещении, на фоточувствительный субстрат, при котором зона проекции картины, которую зоне формируют на субстрате через систему проекции оптически, сформирована на положении которое нецентрально по отношению к оптически оси системы проекции оптически, этапа субстрата способного держать и двигать субстрат, системы перехода субстрата для транспортировать субстрат к этапу субстрата, при котором система перехода субстрата размещана на стороне зоны проекции по отношению к оптически оси, и системы перехода субстрата и субстрата этап аранжирован в разделенном космосе продут с инертным газом, и системе обнаружения положения для обнаруживать метку выравнивания на субстрате.

 
Web www.patentalert.com

< Memory cell having a vertical transistor with buried source/drain and dual gates

< Distance measuring apparatus and camera comprising the apparatus

> Technique for voltage level shifting in input circuitry

> Synchronous up/down address generator for burst mode read

~ 00145