A magnetic head having a helical induction coil. The helical coil is
fabricated around a magnetic pole yoke in a series of process steps that
include a reactive ion etch (RIE) process step which is utilized to
simultaneously form vertical interconnect vias and upper helical coil
member trenches. Thereafter, in a single fabrication step, such as by
electroplating, the vertical interconnect lines and the upper helical coil
traces are created in a single fabrication step, such that they are
integrally formed. The vertical interconnect lines provide an electrical
connection between outer ends of previously formed lower helical coil
traces and outer ends of the integrally formed upper helical coil traces,
such that a helical coil is fabricated. In the preferred embodiment, the
helical coil is composed of copper.
Una cabeza magnética que tiene una bobina de inducción helicoidal. La bobina helicoidal se fabrica alrededor de un yugo del polo magnético en una serie de pasos de proceso que incluyan un paso de proceso reactivo del grabado de pistas del ion (RIE) que se utilice para formar simultáneamente vias verticales de la interconexión y fosos helicoidales superiores del miembro de la bobina. Después de eso, en un solo paso de la fabricación, por ejemplo electrochapando, las líneas verticales de la interconexión y los rastros helicoidales superiores de la bobina se crean en un solo paso de la fabricación, tal que están formadas integralmente. Las líneas verticales de la interconexión proporcionan una conexión eléctrica entre los extremos externos de los rastros helicoidales más bajos previamente formados de la bobina y los extremos externos de la bobina helicoidal superior integralmente formada remontan, tales que una bobina helicoidal está fabricada. En la encarnación preferida, la bobina helicoidal se compone del cobre.
