The invention is directed to a radiation source for generating extreme
ultraviolet (EUV) radiation based on a hot, dense plasma generated by gas
discharge. The object of the invention, to find a novel possibility for
the realization of an EUV radiation source which achieves a high average
radiation output in the EUV region and sufficiently long life and
long-term stability, is met according to the invention in that a first
electrode housing and a second electrode housing which are electrically
separated from one another so as to be resistant to breakdown form parts
of a vacuum chamber for a gas discharge for plasma generation, and the
second electrode housing has an electrode collar which is enclosed
concentrically by the first electrode housing so that the gas discharge is
oriented substantially only parallel to the axis of symmetry of the
electrode housings, and the electrode collar is stepped radially relative
to the concentric insulator layer in such a way that at least one end
region of the electrode collar is at a distance from the concentric
insulator layer such that a concentric gap is formed. A substantially
longer operating duration is achieved by the optimized electrode geometry
in conjunction with material selection and effective heat dissipation.
De uitvinding wordt geleid aan een stralingsbron voor het produceren van extreme ultraviolette (EUV) straling die op een heet, dicht plasma wordt gebaseerd dat door gaslossing wordt geproduceerd. Het doel van de uitvinding, om een nieuwe mogelijkheid voor de totstandbrenging van een EUV stralingsbron te vinden die een hoge gemiddelde stralingsoutput in het gebied EUV en het voldoende lange leven en de stabiliteit bereikt op lange termijn wordt, ontmoet volgens de uitvinding in die zin dat een eerste elektrodenhuisvesting en een tweede elektrodenhuisvesting die van elkaar elektrisch gescheiden zijn bestand om tegen de delen van de analysevorm van een vacuümkamer voor een gaslossing voor plasmageneratie te zijn, en de tweede elektrodenhuisvesting een elektrodenkraag hebben die concentrically door de eerste elektrodenhuisvesting zodat de gaslossing wezenlijk slechts parallel met de as van symmetrie van de elektrodenhuisvesting georiënteerd is wordt ingesloten, de kraag wordt gestapt radiaal met betrekking tot de concentrische isolatielaag zodanig dat minstens één eindgebied van de elektrodenkraag bij een afstand van de concentrische isolatielaag is dusdanig dat een concentrisch hiaat wordt gevormd. Een wezenlijk langere werkende duur wordt bereikt door de geoptimaliseerde elektrodenmeetkunde samen met materiële selectie en efficiënte hittedissipatie.
