Method of manufacturing semiconductor devices

   
   

Subjected to obtain a crystalline TFT which simultaneously prevents increase of OFF current and deterioration of ON current. A gate electrode of a crystalline TFT is comprised of a first gate electrode and a second gate electrode formed in contact with the first gate electrode and a gate insulating film. LDD region is formed by using the first gate electrode as a mask, and a source region and a drain region are formed by using the second gate electrode as a mask. By removing a portion of the second gate electrode, a structure in which a region where LDD region and the second gate electrode overlap with a gate insulating film interposed therebetween, and a region where LDD region and the second gate electrode do not overlap, is obtained.

Soumis pour obtenir un TFT cristallin qui empêche simultanément l'augmentation de OUTRE du courant et la détérioration de SUR le courant. Une électrode de porte d'un TFT cristallin est composée d'une première électrode de porte et d'une deuxième électrode de porte formées en contact avec la première électrode de porte et un film isolant de porte. La région de LDD est constituée en utilisant la première électrode de porte comme masque, et une région de source et une région de drain sont constituées en utilisant la deuxième électrode de porte comme masque. En enlevant une partie de la deuxième électrode de porte, une structure en laquelle une région où la région de LDD et le deuxième chevauchement d'électrode de porte avec un film isolant de porte interposé therebetween, et région où la région de LDD et la deuxième électrode de porte ne recouvrent pas, est obtenue.

 
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< Thin film semiconductor device and manufacturing method thereof

< Bottom gate-type thin-film transistor and method for manufacturing the same

> Electroactive polymers and devices made therefrom

> ADDITIONAL INFORMATION READ/WRITE SYSTEM, ADDITIONAL INFORMATION READ/WRITE METHOD, ADDITIONAL INFORMATION READ/WRITE PROGRAM, COMPUTER-READABLE PROGRAM STORAGE MEDIUM STORING ADDITIONAL INFORMATION READ/WRITE PROGRAM, AND ID/ADDITIONAL INFORMATION DISTRIBUTING APPARATUS.

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