For realizing an optical member for vacuum ultraviolet with little
absorption and with a low deliquescence nature and a low cleavage nature,
a halide of an alkali metal such as Li, Na, Cs, or the like and a halide
of any one of alkaline earth metals and other elements such as Ca, Sr, Ba,
Mg, Zn, and the like are mixed in a ratio of 1:1, the mixture is sintered,
and a fluoride crystal of AMF.sub.3 type perovskite structure is grown.
The crystal is processed to fabricate a substrate of an optical member
such as a lens, a mirror, a prism, or the like for excimer lasers.
Alternatively, the crystal is used as an evaporation source to coat a
substrate of an optical member therewith. It is thus feasible to obtain
optical members with little absorption in the vacuum ultraviolet region
and with an excellent durability.
Für die Verwirklichung eines optischen Mitgliedes für Vakuumultraviolet mit wenig Absorption und mit einer niedrigen Deliquescencenatur und eine niedrige Spaltungnatur, wird ein Halogenid eines Alkalimetalls wie Li, Na, Cs oder dergleichen und ein Halogenid von irgendeinem von Erdalkalimetallen und anderer Elemente wie CA, Sr, Ba, Magnesium, Zn, und dergleichen werden in einem Verhältnis von 1:1 gemischt, wird die Mischung gesintert, und ein Fluoridkristall AMF.sub.3 der Art Perovskitestruktur gewachsen. Der Kristall wird verarbeitet, um ein Substrat eines optischen Mitgliedes wie ein Objektiv, ein Spiegel, ein Prisma oder dergleichen für excimer Laser zu fabrizieren. Wechselweise wird der Kristall als Verdampfungquelle benutzt, um ein Substrat eines optischen Mitgliedes damit zu beschichten. Er ist folglich durchführbar, optische Mitglieder mit wenig Absorption in der Vakuumultravioletten Region und mit einer ausgezeichneten Haltbarkeit zu erhalten.
