Systems and methods for amplified optical metrology

   
   

A spectrometer may include a radiant source configured to emit radiation and an optical amplifier configured to amply the radiation emitted by the radiant source to produce amplified radiation. A number of optical elements may be configured to produce an interference pattern from the amplified radiation. A detector may detect the interference pattern and generate data from the interference pattern. A processor may be configured to measure one or more from the data.

Спектрометр может включить излучающий источник установленный для того чтобы испустить радиацию и оптически усилитель установленный к amply радиации испущенной излучающим источником для того чтобы произвести усиленную радиацию. Несколько оптически элементы могут быть установлены для того чтобы произвести картину взаимодействия от усиленной радиации. Детектор может обнаружить картину взаимодействия и произвести данные от картины взаимодействия. Обработчик может быть установлен для того чтобы измерить one or more от данных.

 
Web www.patentalert.com

< Response assessment

< Dispersive spectrometer

> Apparatus and methods relating to wavelength conditioning of illumination

> Passive tilt correction on two axes

~ 00142