Method and apparatus for imaging at multiple perspectives of a specimen are
disclosed. In one embodiment, an apparatus for generating a
multi-perspective image using multiple charged particle beams (e.g.,
electron beams) is disclosed. In one embodiment, the apparatus generally
includes a charged particle beam generator system arranged to generate and
control a first charged particle beam directed substantially at a first
angle towards the specimen and a second charged particle beam directed
substantially at a second angle towards the specimen. The apparatus also
includes an image generator arranged to generate one or more images based
on charged particles emitted from the specimen in response to the first
and second charged particle beams and a controller arranged to cause the
charged particle beam generator to direct both the first charged particle
beam and the second charged particle beam at a first area of the specimen.
In a specific implementation, the charged particles are in the form of
electrons and the apparatus is a dual electron beam scanning electron
microscope (SEM).
El método y los aparatos para la proyección de imagen en las perspectivas múltiples de un espécimen se divulgan. En una encarnación, un aparato para generar una imagen de la multi-perspectiva que usa las vigas cargadas múltiples de la partícula (e.g., haces electrónicos) se divulga. En una encarnación, el aparato incluye generalmente un sistema de generador cargado de la viga de la partícula dispuesto para generar y para controlar una primera viga cargada de la partícula dirigida substancialmente a un primer ángulo hacia el espécimen y una segunda viga cargada de la partícula dirigida substancialmente a un segundo ángulo hacia el espécimen. El aparato también incluye un generador de imagen dispuesto para generar unas o más imágenes basadas en las partículas cargadas emitidas del espécimen en respuesta a las primeras y segundas vigas cargadas de la partícula y un regulador dispuesto para hacer el generador cargado de la viga de la partícula dirigir ambos la primera viga cargada de la partícula y la segunda viga cargada de la partícula en una primera área del espécimen. En una puesta en práctica específica, las partículas cargadas están en la forma de electrones y el aparato es un microscopio electrónico dual de exploración del haz electrónico (SEM).
