A chemical vapor deposited, .beta. phase polycrystalline silicon carbide
having a high thermal conductivity and reduced stacking faults. The
silicon carbide is synthesized under specific conditions using hydrogen
gas and methyltrichlorosilane gas as reactants. The thermal conductivity
of the silicon carbide is sufficiently high such that it can be employed
as parts of apparatus and components of electrical devices where a high
heat load is generated. Such components may include active thermoelectric
coolers, heat sinks and fans.
Ein chemischer Dampf, der niedergelegt wurden, beta. Phase das polykristalline Silikonkarbid, das eine hohe Wärmeleitfähigkeit hat und verringerten Schichtungsfehler. Das Silikonkarbid wird unter spezifischen Bedingungen mit Wasserstoffgas und methyltrichlorosilane Gas als Reaktionsmittel synthetisiert. Die Wärmeleitfähigkeit des Silikonkarbids ist so genug hoch, daß sie wie Teile Apparate und Elemente der elektrischen Vorrichtungen eingesetzt werden kann, in denen eine hohe Hitzelast erzeugt wird. Solche Bestandteile können aktive thermoelektrische Kühlvorrichtungen, Kühlbleche und Ventilatoren mit einschließen.
