A grain size of a crystal grain in a crystalline semiconductor film
obtained by a thermal crystallization method using a metallic element is
reduced. Thus, the number of crystal grains in active regions of a device
is made uniform. The thermal crystallization method using a metallic
element is performed for a semiconductor film formed on an insulating film
formed at a lower temperature than that at formation of the semiconductor
film and that at crystallization of the semiconductor film. By thermal
treatment in a step of crystallizing the semiconductor film, stress of the
insulating film is applied to the semiconductor film, thus causing
distortion in the semiconductor film. When the distortion is caused,
surface energy and a chemical potential of the semiconductor film are
changed to promote the generation of a natural nucleus. Therefore, since a
generation density of the crystal nucleus is increased, a grain size of a
crystal grain can be reduced.
Een korrelgrootte van een kristalkorrel in wordt een kristallijne halfgeleiderfilm die door een thermische kristallisatiemethode wordt verkregen die een metaalelement gebruikt verminderd. Aldus, wordt het aantal kristalkorrels in actieve gebieden van een apparaat gemaakt eenvormig. De thermische kristallisatiemethode die een metaalelement gebruikt wordt uitgevoerd voor een halfgeleiderfilm die op een isolerende film wordt gevormd die bij een lagere temperatuur dan dat bij vorming van de halfgeleiderfilm en dat bij kristallisatie van de halfgeleiderfilm wordt gevormd. Door thermische behandeling in een stap van het kristalliseren van de halfgeleiderfilm, wordt de spanning van de isolerende film toegepast op de halfgeleiderfilm, waarbij vervorming in de halfgeleiderfilm wordt veroorzaakt. Wanneer de vervorming wordt veroorzaakt, worden de oppervlakte-energie en een chemisch potentieel van de halfgeleiderfilm veranderd om de generatie van een natuurlijke kern te bevorderen. Daarom aangezien een generatiedichtheid van de kristalkern wordt verhoogd, kan een korrelgrootte van een kristalkorrel worden verminderd.
