Methods and apparatus for dishing and erosion characterization

   
   

The present invention includes a system for efficient and effective detection and characterization of dishing and/or erosion. An x-ray emission inducer is used to scan a target on a sample. The target can be scanned at an acute incident angle to allow characterization of the dishing and/or erosion and analysis of the metallization or thin film layer topology.

La actual invención incluye un sistema para la detección eficiente y eficaz y caracterización de servir y/o de la erosión. Un inductor de la emisión de la radiografía se utiliza para explorar una blanco en una muestra. La blanco se puede explorar a un ángulo agudo del incidente para permitir la caracterización de servir y/o la erosión y análisis de la metalización o de la topología de la capa de la película fina.

 
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