The present invention provides a method and system for complex process
optimization utilizing metrics, operational variables, or both, of one or
more process steps and optimization of one or more of these process step
parameters with respect to a cost function for the parameter. In one
embodiment, the invention provides a scalable, hierarchical optimization
method utilizing optimizations at one process level as inputs to an
optimization of a higher or lower process level.
Die anwesende Erfindung stellt eine Methode und ein System für die komplizierte Prozeßoptimierung zur Verfügung, die Metrik, funktionsfähige Variablen oder beide, von einem oder mehr Prozeßschritten und Optimierung von einem oder mehr von diesen Prozeßschrittparameter in Bezug auf eine Kostenfunktion für den Parameter verwendet. In einer Verkörperung stellt die Erfindung eine scalable, hierarchische Optimierung Methode zur Verfügung, die Optimierungen bei einem Prozeßniveau als Eingänge zu einer Optimierung eines höheren oder untereren Prozeßniveaus verwendet.
