An electret formed by micro-machining technology on a support surface,
including a self-powered electret sound transducer, preferably in the form
of a microphone, formed by micro-machining technology. Each microphone is
manufactured as a two-piece unit, comprising a microphone membrane unit
and a microphone back plate, at least one of which includes an electret
formed by micro-machining technology. When juxtaposed, the two units form
a microphone that can produce a signal without the need for external
biasing, thereby reducing system volume and complexity. The electret
material used is a thin film of spin-on polytetrafluoroethylene (PTFE). An
electron gun preferably is used for charge implantation. The electret has
a saturated charged density in the range of about 2.times.10.sup.-5
C/m.sup.2 to about 8.times.10.sup.-4 C/m.sup.2. Thermal annealing is used
to stabilize the implanted charge. An open circuit sensitivity of about
0.5 mV/Pa has been achieved for a hybrid microphone package.
Electret сформировало путем микро--podverga4 механической обработке технология на поверхности поддержки, включая self-powered датчик звука electret, предпочтительн in the form of микрофон, сформированный путем микро--podverga4 механической обработке технология. Каждый микрофон изготовлен как двухкусочный блок, состоя из блока мембраны микрофона и микрофон назад покрывает, по крайней мере одно из которого вклюает electret сформированное путем микро--podverga4 механической обработке технология. Когда juxtaposed, форма 2 блоков микрофон который может произвести сигнал без потребности для внешний склонять, таким образом уменьшающ том системы и сложность. Используемым материалом electret будет тонкая пленка закручивать-na политетрафторэтилена (PTFE). Пушка электрона предпочтительн использована для вживления обязанности. Electret имеет насыщенную порученную плотность in the range of about 2.times.10.sup.-5 C/m.sup.2 к около 8.times.10.sup.-4 C/m.sup.2. Термально отжиг использован для того чтобы стабилизировать имплантированную обязанность. Чувствительность открытой цепи около 0.5 mV/Pa была достигана для гибридного пакета микрофона.
