Wafer serialization manufacturing process for read/write heads using photolithography and selective reactive ion etching

   
   

A serialization process presents an efficient method of creating serial numbers on a ceramic-like semiconductor wafer by forming a non-rigid photomask that incorporates character specifications for the serial numbers. The non-rigid photomask is retained in a rigid, optically transparent photomask holder that enables the photomask to be handled as a rigid structure. Upon preparation of the wafer, the serial numbers are created onto wafer dies using a combined process involving photolithography, and a reactive ion etching process with a selective etch rate. The serialization process enables a rapid creation of serial numbers, with the selective RIE process substantially increasing the optical contrast of the characters without the need for deep trenches and without generation of excessive debris.

Процесс serialization представляет эффективный метод создавать серийныйа номер на а керамическ-kak вафля полупроводника путем формировать non-rigid photomask включает спецификации характера для серийныйа номер. Non-rigid photomask сохранен в твердом, оптически прозрачном держателе photomask который позволяет photomask быть обращанным как твердая структура. На подготовке вафли, серийныйа номер созданы на вафлю умирают использовать совмещенный процесс включая фотолитографию, и реактивный процесс вытравливания иона с селективным тарифом etch. Процесс serialization включает быстро творение серийныйа номер, при селективный процесс RIE существенн увеличивая оптически контраст характеров без потребности для глубоких шанцов и без поколения чрезмерно твердых частиц.

 
Web www.patentalert.com

< Optically active compound and nematic liquid crystal composition containing the compound

< Compensation films for LCD

> Semiconductor component and method of manufacture

> Production method of .beta.-amino-.alpha.-hydroxycarboxylic acid

~ 00139