A position detection device for detecting a position of an object. The
detection device includes an irradiation device for irradiating light onto
an alignment mark formed on a surface of the object, a probe for detecting
near-field light in the vicinity of the alignment mark upon irradiation by
the irradiation device and a detector for detecting position information
of the object on the basis of the near-field light detected by the probe.
Een apparaat van de positieopsporing om een positie van een voorwerp te ontdekken. Het opsporingsapparaat omvat een stralingsapparaat om licht op een groeperingsteken dat op een oppervlakte van het voorwerp wordt gevormd, een sonde voor het ontdekken van dichtbijgelegen-gebiedslicht in de buurt van het groeperingsteken op straling door het stralingsapparaat en een detector te bestralen voor het ontdekken van positieinformatie van het voorwerp op basis van het dichtbijgelegen-gebiedslicht dat door de sonde wordt ontdekt.
