Method of fabricating a magnetic transducer with a write head having a multi-layer coil

   
   

A method for producing a magnetic transducer with a inductive write head having a multilayer coil with a high aspect ratio and a short yoke is provided. A damascene process is used for two coil layers and a conventional process for the third coil layer. The process of the invention allows a seed layer for the coil to be deposited on the side walls of the trenches for the first and second coil layers. In one embodiment the seed layer for the coil is preceded by an adhesion layer.

Um método para produzir um transdutor magnético com um indutivo escreve a cabeça que tem uma bobina multilayer com uma relação de aspecto elevada e um garfo curto é fornecido. Um processo damascene é usado para duas camadas da bobina e um processo convencional para a terceira camada da bobina. O processo da invenção permite que uma camada da semente para que a bobina seja depositada nas paredes laterais das trincheiras para as primeiras e segundas camadas da bobina. Em uma incorporação a camada da semente para a bobina é precedida por uma camada da adesão.

 
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