A reticle (23) with a pellicle is movably set on a reticle support table
(28). An inert gas supply portion (29) and inert gas exhaust portion (37)
are so driven as to sandwich a pellicle frame (25), and align the pellicle
frame (25). The inert gas supply portion (29) and inert gas exhaust
portion (37) are brought into tight contact with the pellicle frame (25).
In this state, inert gas is supplied from the inert gas supply portion
(29) into the pellicle space via a vent hole (27) of the pellicle frame
(25). Inert gas is exhausted to the inert gas exhaust portion (37) via a
vent hole (27) formed on the opposite side.
Un reticolo (23) con un pellicle mobile è regolato su una tabella di sostegno del reticolo (28). Una parte inerte dell'approvvigionamento di gas (29) e la parte dello scarico del gas inerte (37) sono in modo da guidato quanto al panino una struttura del pellicle (25) ed allineano la struttura del pellicle (25). La parte inerte dell'approvvigionamento di gas (29) e la parte dello scarico del gas inerte (37) sono messe in contatto stretto con la struttura del pellicle (25). In questo dichiari, gas inerte è fornito dalla parte inerte dell'approvvigionamento di gas (29) nello spazio del pellicle via un foro di sfiato (27) del telaio del pellicle (25). Il gas inerte è esaurito alla parte dello scarico del gas inerte (37) via un foro di sfiato (27) formato dal lato opposto.
