A mass separation filter has a first magnet forming a first magnetic field
in an orthogonal direction to a beam axis of an ion beam, a second magnet
sequentially arranged with the first magnet along the beam axis, parallel
with and facing the opposite direction of the first magnet, and forming a
second magnetic field orthogonal to the beam axis; and a collimator wall
formed within the first and second magnetic fields that forms a transfer
channel from a first curved channel deflected from the first magnetic
field to a second curved channel deflected by the second magnetic field in
a direction the reverse of the first magnetic field. Incident ions pass
through a channel inversely curved by the magnetic fields of the first and
second magnets according to the mass separation filter, and it is possible
to lead ions of a desired mass in the same direction as the beam axis.
Un filtre de masse de séparation a un premier aimant former un premier champ magnétique dans une direction orthogonale à un axe de faisceau d'un faisceau d'ions, un deuxième aimant séquentiellement disposé avec le premier aimant le long de l'axe de faisceau, parallèle avec et faire face à la direction opposée du premier aimant, et former un deuxième champ magnétique orthogonal à l'axe de faisceau ; et un mur de collimateur a formé dans le premier et les deuxièmes champs magnétiques qui forme un canal de transfert d'un premier ont courbé le canal braqué du premier champ magnétique à un deuxième canal incurvé braqué par le deuxième champ magnétique dans une direction l'inverse du premier champ magnétique. Les ions d'incident traversent un canal inversement incurvé par les champs magnétiques des premiers et deuxièmes aimants selon le filtre de masse de séparation, et il est possible de mener des ions d'une masse désirée dans la même direction que l'axe de faisceau.
