Predicting manufacturing process failures

   
   

A method for generating a predictor of failure of a manufacturing process. The predictor is generated by generating a candidate solution for the predictor and then determining a fitness of the candidate solution using fitness cases pertaining to the manufacturing process and a set of costs associated with the manufacturing process. The fitness may then be used to formulate a next generation of candidate solutions for a design method modeled on evolution.

Μια μέθοδος για έναν προάγγελο της αποτυχίας μιας διαδικασίας κατασκευής. Ο προάγγελος παράγεται με την παραγωγή μιας λύσης υποψηφίων για τον προάγγελο και έπειτα τον καθορισμό μιας ικανότητας της λύσης υποψηφίων χρησιμοποιώντας τις περιπτώσεις ικανότητας σχετικά με τη διαδικασία κατασκευής και ένα σύνολο δαπανών που συνδέονται με τη διαδικασία κατασκευής. Η ικανότητα μπορεί έπειτα να χρησιμοποιηθεί για να διατυπώσει μια επόμενη γενεά των λύσεων υποψηφίων για μια μέθοδο σχεδίου που διαμορφώνεται σύμφωνα με την εξέλιξη.

 
Web www.patentalert.com

< Process-robust alignment mark structure for semiconductor wafers

< Method and apparatus for determining contact opening dimensions using scatterometry

> Semiconductor device and method of manufacturing the same

> Enhanced process and profile simulator algorithms

~ 00137