The disclosure relates to filtered e-beam inspection and review. One
embodiment pertains to the filtered inspection or review of a specimen
with a high aspect ratio feature. Advantageously, the energy and/or
angular filtering improves the information retrievable relating to the
high aspect ratio feature on the specimen. Another embodiment pertains to
a method for energy-filtered electron beam inspection where a band-pass
energy filtered image data is generated by determining the difference
between a first high-pass energy-filtered image data set and a second
high-pass energy-filtered image data set.
La rilevazione si riferisce a controllo ed alla revisione filtrati del e-fascio. Un incorporamento appartiene il controllo o la revisione filtrato di un esemplare con un'alta caratteristica di allungamento. Vantaggiosamente, l'energia e/o la filtrazione angolare migliora le informazioni recuperabili concernente l'alta caratteristica di allungamento sull'esemplare. Un altro incorporamento appartiene un metodo per controllo energia-filtrato del fascio elettronico dove i dati di immagine filtrati energia passa-banda sono generati determinando la differenza fra un primo insieme di dati energia-filtrato passa-alto di immagine e un secondo insieme di dati energia-filtrato passa-alto di immagine.
