The present invention is directed to a gas supply nozzle plate constructed
by laminating a plurality of metal members each having a fluid path and
branch. A fluid nozzle plate member provided by the invention has high
sealing at a joined part, and high reliability even when used in high
vacuum or at a high temperature. The fluid nozzle plate member comprises a
plurality of plate-like metal members each having a fluid path and/or a
branch. In this case, the plurality of plate-like metal members are
laminated, and the laminated surfaces thereof are joined together by press
forging.
Die anwesende Erfindung wird auf eine Gas-Versorgungsmaterial-Düse Platte verwiesen, die indem man eine Mehrzahl der Metallmitglieder jede konstruiert wird, die, einen flüssigen Weg und eine Niederlassung hat lamelliert. Ein flüssiges Düse Platte Mitglied, das von der Erfindung bereitgestellt wird, hat hohe Dichtung an einem verbindenden Teil, und hohe Zuverlässigkeit, selbst wenn verwendet im hohen Vakuum oder an einer Hochtemperatur. Das flüssige Düse Platte Mitglied enthält eine Mehrzahl Platte-wie von den Metallmitgliedern jede, die einen flüssigen Weg und/oder eine Niederlassung hat. In diesem Fall werden die Mehrzahl Platte-wie der Metallmitglieder lamelliert, und die lamellierten Oberflächen davon werden zusammen durch Presseschmieden verbunden.
