A robot assembly including multiple independently operable robot assemblies
are provided for use in semiconductor wafer processing. The robot assembly
includes independent co-axial upper and lower robot assemblies adapted to
handle multiple objects. The upper robot is stacked above the lower robot
and the two robots are mounted concentrically to allow fast wafer
transfer. Concentric drive mechanisms may also be provided for imparting
rotary motion to either rotate the robot assembly or extend an extendable
arm assembly into an adjacent chamber. Each robot can be either a single
blade robot or a dual blade robot. Also provided is an apparatus for
processing semiconductor wafers comprising a pre/post process transfer
chamber housing multiple independent robot assemblies and surrounded by a
plurality of pre-process chambers and post process chambers. Within each
process, pre-process and post-process chamber is an apparatus for holding
a plurality of stacked wafers. The apparatus includes a wafer lifting and
storing apparatus exhibiting a plurality of vertically movable lift pins
surrounding the chamber pedestal. The lift pins are configured to receive
and hold a plurality of stacked wafers, preferably two, therein.
Ein Roboter einschließlich Mehrfachverbindungsstelle unabhängig funktionelle Roboter werden für Gebrauch bei der Halbleiterplättchenverarbeitung zur Verfügung gestellt. Der Roboter schließt die unabhängigen oberen und untereren koaxialroboter ein, die angepaßt werden, um mehrfache Gegenstände anzufassen. Der obere Roboter wird über dem untereren Roboter gestapelt und die zwei Roboter werden konzentrisch angebracht, um schnelle Oblateübertragung zu erlauben. Konzentrische Antriebsmechanismen können für das Zuteilen von von Drehbewegung entweder zu auch zur Verfügung gestellt werden drehen den Roboter oder verlängern einen ausdehnbaren Arm in einen angrenzenden Raum. Jeder Roboter kann entweder ein einzelner Blattroboter oder ein Doppelblattroboter sein. Auch gestellt ein Apparat für die Verarbeitung der Halbleiterplättchen zur Verfügung, die einen pre/post Prozeßübergangsraum enthalten, der mehrfache unabhängige Roboter unterbringt und umgeben worden durch eine Mehrzahl von aufbereiten Sie Räume und Pfostenprozeßräume. Innerhalb jedes Prozesses aufbereiten Sie und nachbearbeiten Sie Raum ist ein Apparat für das Halten einer Mehrzahl der Staplungsoblaten. Der Apparat schließt eine Oblate mit ein, die den Apparat anhebt und speichert, der eine Mehrzahl der vertikal beweglichen Heberstifte ausstellt, die den Raumuntersatz umgeben. Die Heberstifte werden zusammengebaut, um eine Mehrzahl Staplungsoblaten, vorzugsweise zwei zu empfangen und zu halten, darin.
