A plurality of feedthrough holes are efficiently formed on the present
invention by splitting a laser beam emitted from a laser source into
plural laser beams by allowing the beam to pass through a diffraction
grating, followed by simultaneously forming a plurality of the feedthrough
holes on the ceramic green sheet by irradiating the ceramic green sheet
with the split laser beam.
Een meerderheid van feedthrough gaten wordt efficiënt op de onderhavige uitvinding door een laserstraal gevormd die uit een laserbron in meervoudslaserstralen te verdelen door de straal wordt uitgezonden toe te staan om door diffractiegrating over te gaan, die door een meerderheid van de feedthrough gaten op het ceramische groene blad gelijktijdig te vormen door het ceramische groene blad met de gespleten laserstraal wordt gevolgd te bestralen.
