An optical switch is fabricated using micro-electro-mechanical system
("MEMS") techniques. A thin mirror is fabricated in the major plane of the
substrate and rotates about an axis perpendicular to the major plane to
move into and out of an optical beam path. The mirror surface is open for
chemical polishing and deposition, resulting in a high-quality mirror. In
one embodiment, the backside of the mirror is patterned with reinforcing
ribs. In another embodiment, a two-sided mirror is fabricated.
Ein LWL-Schalter wird mit Mikro--electro-mechanischen System ("MEMS") Techniken fabriziert. Ein dünner Spiegel wird in der Hauptfläche des Substrates fabriziert und dreht sich über ein Mittellinie Senkrechtes zur Hauptfläche zur Bewegung in und aus einen optischen Strahlengang heraus. Die Spiegeloberfläche ist für das chemisches Polieren und Absetzung geöffnet, und das resultiert in einem hochwertigen Spiegel. In einer Verkörperung patterned die Rückseite des Spiegels mit der Verstärkung der Rippen. In einer anderen Verkörperung wird ein doppelseitiger Spiegel fabriziert.
