Specification data including a method of measuring the dimension and mask
design data for a photomask pattern is transmitted from an order-sender
computer via a communication line. An element dimension calculating unit
generates a measurement recipe according to the dimension-measurement
method and the mask design data to transmit the measurement recipe to an
element dimension measuring unit. The element dimension calculating unit
calculates production error data of the pattern according to measurement
data and the mask design data to transmit the error data to the
order-sender via the communication line.
Данные по спецификации включая метод измерять размер и проектныа данные маски для картины photomask переданы от компьютера заказ-prislujnika через линияа связи. Блок размера элемента calculating производит recipe измерения согласно методу размер-izmereni4 и проектныа данные маски для того чтобы передать recipe измерения к измерительному блоку размера элемента. Блок размера природная стихия calculating высчитывает данные по ошибки продукции картины согласно данным по измерения и проектныа данные маски для того чтобы передать данные по ошибки к заказ-prislujniku через линияа связи.
