Provided are a fluorine-containing photosensitive polymer having a hydrate
structure and a resist composition including the photosensitive polymer.
The photosensitive polymer has an average molecular weight of about
3,000-100,000 with a repeating unit including a group having one of
structural formulae below:
##STR1##
Si sont un polymère photosensible fluoré ayant une structure d'hydrate et une composition en résistance comprenant le polymère photosensible. Le polymère photosensible a un poids moléculaire moyen environ de 3.000-100.000 avec une unité de répétition comprenant un groupe ayant une de formules structurales ci-dessous : ## du ## STR1
