A surface plasmon resonance (SPR) sensor (10) is disclosed. The sensor (10)
includes a light source (18) and polarizer (20), which emit polarized
light toward a surface plasmon layer (22). Light is reflected from the
surface plasmon layer (22) at many angles, toward a photodetector array
(26) via a mirror surface (24). The surface plasmon layer (22) includes a
resonance film (30), such as gold, and a hard protective layer (32). The
hard protective layer (32) is of a thickness below the sensing range (R)
of the SPR sensor (10), and protects the resonance film (30) from damage.
Materials useful as the hard protective layer (32) include silicon carbide
(SiC), diamond-like carbon (DLC), silicon dioxide, silicon nitride,
titanium oxide, titanium nitride, aluminum oxide, aluminum nitride,
beryllium oxide, and tantalum oxide.
Поверхностный датчик резонанса плазмона (SPR) (10) показан. Датчик (10) вклюает источник света (18) и поляризатор (20), который испускают поляризовыванный свет к поверхностному слою плазмона (22). Свет отражен от поверхностного слоя плазмона (22) на много углов, к блоку фотодетектора (26) через поверхность зеркала (24). Поверхностный слой плазмона (22) вклюает пленку резонанса (30), such as золото, и трудный защитный слой (32). Трудный защитный слой (32) толщины под воспринимая рядом (R) датчика SPR (10), и защищает пленку резонанса (30) от повреждения. Материалы полезные как трудный защитный слой (32) вклюают карбид кремния (SiC), диамант-kak углерод (DLC), двуокись кремния, нитрид нитрида кремния, titanium окиси, titanium, алюминиевая окись, алюминиевый нитрид, окись берилля, и окись тантала.
