A microelectromechanical system (MEMS) analog isolator may be created in
which an actuator such as an electrostatic motor drives a beam against an
opposing force set, for example, by another electrostatic motor. Motion of
the beam may be sensed by a sensor also attached to the beam. The beam
itself is electrically isolated between the locations of the actuator and
the sensor. The structure may be incorporated into integrated circuits to
provide on-chip isolation.
Ένας microelectromechanical αναλογικός μονωτής συστημάτων (MEMS) μπορεί να δημιουργηθεί στον οποίο ένας ενεργοποιητής όπως μια ηλεκτροστατική μηχανή οδηγεί μια ακτίνα ενάντια σε ένα αντιτιθέμενο σύνολο δύναμης, παραδείγματος χάριν, από μια άλλη ηλεκτροστατική μηχανή. Η κίνηση της ακτίνας μπορεί να αισθανθεί από έναν αισθητήρα που συνδέεται επίσης με την ακτίνα. Η ίδια η ακτίνα είναι ηλεκτρικά απομονωμένη μεταξύ των θέσεων του ενεργοποιητή και του αισθητήρα. Η δομή μπορεί να ενσωματωθεί στα ολοκληρωμένα κυκλώματα για να παρέχει την απομόνωση-ΤΣΙΠ.
