A process for forming a thin metal oxide film is disclosed that comprises
molding an amorphous powder of organic metal chelate complexes to obtain a
target. The process also includes subjecting the target to a PVD process
that forms the thin metal oxide.
Un processo per formare una pellicola sottile dell'ossido di metallo รจ rilevato che contiene la modellatura della polvere amorfa dei complessi organici del chelato del metallo per ottenere un obiettivo. Il processo inoltre include il soggetto dell'obiettivo ad un processo di PVD che forma l'ossido di metallo sottile.
