In order to provide a single, small apparatus capable of elemental and
structural analysis of inorganic matter by utilizing X-rays having
non-obstructive and non-contact characteristics there is provided a small,
energy distribution type X-ray detector for detecting X-ray fluorescence
and subjecting the X-ray fluorescence to elemental and quantative
analysis, and a CCD line sensor for performing structural analysis. An
X-ray tube target structure that is a Cu layer on an Mo layer is adopted.
When excitation is performed using a low accelerating voltage, this is
made monochromatic by using a Cu filter to filter the Cu--K lines and the
continuous X-rays generated, with the radiation quality (Cu--K lines) thus
generated then being utilized in X-ray diffraction. When excitation is
performed using a high accelerating voltage, Cu--K lines of the Cu--K
lines, Mo--K lines and continuous X-rays thus generated are blocked by
absorption using an Mo or Zr filter, with the Mo--K lines and continuous
X-rays thus obtained being utilized in X-ray fluorescence analysis.
Para proporcionar un solo, el aparato pequeño capaz de análisis elemental y estructural de la materia inorgánica utilizando las radiografías que tienen características no-obstructoras y sin contacto allí se proporciona un tipo pequeño, de la energía detector de la distribución de la radiografía para detectar fluorescencia de la radiografía y sujetar la fluorescencia de la radiografía al análisis elemental y quantative, y una línea sensor del CCD para realizar análisis estructural. Se adopta una estructura de la blanco del tubo de radiografía que es una capa del Cu en una capa del MES. Cuando se realiza la excitación usando un voltaje de aceleración bajo, esto es hecha monocromático usando un filtro del Cu para filtrar el Cu -- líneas de K y las radiografías continuas generadas, con ser utilizado así generado de la calidad de la radiación (Cu -- las líneas de K) entonces en la difracción de radiografía. Cuando se realiza la excitación usando un alto voltaje de aceleración, el Cu -- líneas de K del Cu -- K alinea, el MES -- K alinea y las radiografías continuas generadas así son bloqueadas por la absorción usando un filtro del MES o del zr, con el MES -- las líneas de K y el ser utilizado así obtenido continuo de las radiografías en análisis de la fluorescencia de la radiografía.
