An illumination delivery system provides a spatially and angularly uniform
shaped beam output with sufficient intensity to illuminate a sample
surface for defect inspection. Light is transmitted through a shaped fiber
optic bundle, a homogenizer, a diffuser, and an optional focusing optics
system.
Un sistema de la entrega de la iluminación proporciona espacial y angular salida formada uniforme de la viga suficiente intensidad para iluminar una superficie de la muestra para la inspección del defecto. La luz se transmite a través de un paquete óptico formado de la fibra, de un homogeneizador, de un difusor, y de un sistema opcional de la óptica que se enfoca.
