The invention relates to a gas discharge laser including a discharge tube
(1), in which a gas is present and which has at least one aperture (19)
through which a laser beam emerges or at which a laser beam is reflected.
For withdrawing a partial amount of the gas contained in the discharge
tube (1), at least one gas withdrawal point (9) is present, from which the
withdrawn gas is supplied to a sintered filter (11) for being cleaned. The
cleaned gas may be led in via at least one gas inlet point (27) in the
zone of the aperture (19). The invention further relates to a method of
operating a gas discharge laser, and the use of a sintered filter for
cleaning gas withdrawn from a discharge tube (1) of a gas discharge laser.
Вымысел относит к лазеру разрядки газа включая пробку разрядки (1), в которой газ присутствует и которой имеет по крайней мере одну апертуру (19) через которую лазерныйа луч вытекает или на лазерныйа луч отражен. Для разделять частично количество газа, котор содержат в пробке разрядки (1), на наименьший этап разведения одного газа (9) присутствует, от которого братый назад газ поставлен к спеченному фильтру (11) для быть очищенным. Очищенный газ может быть водить внутри через по крайней мере один пункт входа газа (27) в зоне апертуры (19). Вымысел более дальнейший относит к методу работать лазер разрядки газа, и пользе спеченного фильтра для разделенного газа чистки от пробки разрядки (1) лазера разрядки газа.
