A field emission electron source includes: a field emission array portion
composed of an insulation layer with a plurality of apertures, which is
formed on a substrate, an extraction electrode formed on the insulation
layer, and a plurality of cathodes formed respectively on the substrate in
the plurality of apertures; a cathode base for fixing the field emission
array portion; and an electron lens portion composed of a plurality of
electrode members having a function of accelerating and converging an
electron beam emitted from the field emission array portion. An emission
axis of the electron beam emitted from the field emission array portion
has a predetermined angle with respect to an optical axis of the electron
lens portion. Thus, the field emission array portion can be protected from
impact caused by ions generated in the electron lens portion, thereby
improving the life of a field emission electron source.
Een het elektronenbron van de gebiedsemissie omvat: een de seriegedeelte van de gebiedsemissie dat uit een isolatielaag wordt samengesteld met een meerderheid van openingen, die op een substraat wordt gevormd, een extractieelektrode die op de isolatielaag, en een meerderheid van kathoden wordt gevormd vormde zich respectievelijk op het substraat in de meerderheid van openingen; een kathodebasis voor het bevestigen van het de seriegedeelte van de gebiedsemissie; en een gedeelte van de elektronenlens dat uit een meerderheid van een functie van het versnellen hebben en elektrodenleden wordt samengesteld die een elektronenstraal samenkomen die van het de seriegedeelte van de gebiedsemissie wordt uitgezonden. Een emissieas van de elektronenstraal die van het de seriegedeelte van de gebiedsemissie heeft wordt uitgezonden een vooraf bepaalde hoek met betrekking tot een optische as van het gedeelte van de elektronenlens. Aldus, kan het de seriegedeelte van de gebiedsemissie tegen effect worden beschermd dat door ionen wordt veroorzaakt die in het gedeelte van de elektronenlens worden geproduceerd, daardoor verbeterend het leven van een het elektronenbron van de gebiedsemissie.
